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   5       Si    1.33    -4.70     8.45      68.60       0.58    -4.12     16
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  16       C    -0.08     0.18     5.38     -19.91      -0.11     0.08     16
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  18       O    -0.55     2.07    12.76    -148.98      -1.90     0.17     16
  19       Si    0.97    -3.65    25.06      68.60       1.72    -1.93     16
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  21       H    -0.27     0.08     7.11      99.48       0.71     0.78     16
  22       H    -0.26     0.59     7.11      99.48       0.71     1.30     16
  23       C    -0.15     0.05     8.65      22.37       0.19     0.25     16
  24       C     0.10     0.29     7.29      22.34       0.16     0.45     16
  25       F    -0.14    -0.77    17.26      44.97       0.78     0.01     16
  26       C    -0.11    -0.37     9.66      22.57       0.22    -0.15     16
  27       N    -0.47    -2.87    10.11    -177.79      -1.80    -4.66     16
  28       H     0.06    -0.13     7.79      -2.39      -0.02    -0.14     16
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  33       H     0.06    -0.23     7.79      -2.39      -0.02    -0.25     16
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  50       H     0.15     0.55     7.82      -2.91      -0.02     0.53     16
 Total:          0.00   -10.95   421.19                  4.47    -6.47