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   4       C    -0.46     2.65     8.52     113.37       0.97     3.62     16
   5       C    -0.38     0.83     4.60      22.31       0.10     0.93     16
   6       C    -0.10     0.22     9.28      22.24       0.21     0.42     16
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  10       C    -0.07     0.19     9.43      22.48       0.21     0.40     16
  11       C    -0.12     0.32     8.64      22.24       0.19     0.51     16
  12       C    -0.08    -0.09     5.24     -19.82      -0.10    -0.20     16
  13       C    -0.11    -0.08     2.01      71.24       0.14     0.06     16
  14       O    -0.54    -0.99    10.85    -148.98      -1.62    -2.60     16
  15       Si    0.99    -2.77    25.47      68.60       1.75    -1.02     16
  16       H    -0.23     1.40     6.74      99.48       0.67     2.07     16
  17       H    -0.27    -0.39     7.11      99.48       0.71     0.32     16
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  20       C     0.50     3.60     2.87      71.24       0.20     3.81     16
  21       F    -0.18    -1.37    15.97      44.97       0.72    -0.66     16
  22       F    -0.18    -1.45    15.40      44.97       0.69    -0.76     16
  23       F    -0.17    -1.55    14.88      44.97       0.67    -0.88     16
  24       C    -0.07    -0.23     8.81      22.48       0.20    -0.03     16
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  26       C    -0.10     0.02     9.28      22.24       0.21     0.23     16
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  29       H     0.07    -0.27     7.96      -2.39      -0.02    -0.29     16
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  44       H     0.14    -0.53     7.40      -2.91      -0.02    -0.55     16
 Total:          0.00   -13.32   367.00                  8.54    -4.77