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   4       C    -0.18    -0.55     8.37      71.98       0.60     0.05     16
   5       O    -0.37    -2.36     9.94     -55.45      -0.55    -2.91     16
   6       C     0.65     4.51     8.06     129.79       1.05     5.56     16
   7       O    -0.59    -6.69    11.50      19.80       0.23    -6.47     16
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  10       H     0.11    -0.15     7.50      -2.39      -0.02    -0.16     16
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  14       C     0.13    -0.61     5.39      86.38       0.47    -0.14     16
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  17       N    -0.52    -0.61     9.57    -193.04      -1.85    -2.46     16
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  20       C    -0.06     0.20     2.84      71.24       0.20     0.40     16
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  22       Si    0.78    -4.21    29.82      68.60       2.05    -2.17     16
  23       C    -0.04    -0.06     9.75      22.48       0.22     0.16     16
  24       C    -0.04    -0.16     7.35      22.59       0.17     0.01     16
  25       F    -0.14    -0.91    16.65      44.97       0.75    -0.16     16
  26       C    -0.16     0.69     7.35      31.21       0.23     0.92     16
  27       H     0.06     0.21     8.14      -2.39      -0.02     0.19     16
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  47       H     0.15     0.03     8.06      -2.91      -0.02     0.01     16
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  49       H     0.13    -0.99     7.97      -2.38      -0.02    -1.01     16
 Total:          0.00   -19.42   404.29                 -0.19   -19.61