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  15       C    -0.05     0.05     2.84      36.01       0.10     0.15     16
  16       O    -0.54     0.24    12.78     -35.23      -0.45    -0.21     16
  17       Si    0.69    -1.30    29.82    -169.99      -5.07    -6.37     16
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  21       C    -0.15     0.13     7.46     -25.92      -0.19    -0.07     16
  22       H     0.04    -0.04     8.14     -51.93      -0.42    -0.47     16
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  37       H     0.15     0.01     8.06     -52.49      -0.42    -0.41     16
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  39       H     0.07    -0.08     8.14     -51.92      -0.42    -0.51     16
 Total:          0.00    -5.88   329.23                 -9.38   -15.27