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  14       C     0.15    -2.96     9.84      84.61       0.83    -2.12     16
  15       C    -0.20     3.58     5.40     -19.76      -0.11     3.48     16
  16       C    -0.07     1.24     2.84      71.23       0.20     1.44     16
  17       O    -0.55     7.10    12.78    -148.98      -1.90     5.19     16
  18       Si    0.77   -14.27    29.82      68.60       2.05   -12.23     16
  19       C    -0.05     0.73     9.75      22.48       0.22     0.95     16
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  21       F    -0.14     2.00    16.65      44.97       0.75     2.75     16
  22       C    -0.13     5.79     7.39      31.12       0.23     6.02     16
  23       H     0.13    -7.95     8.14      -2.38      -0.02    -7.97     16
  24       H     0.12    -7.62     6.10      -2.39      -0.01    -7.64     16
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  39       H     0.15    -2.14     8.06      -2.91      -0.02    -2.17     16
  40       H     0.08    -3.24     8.14      -2.39      -0.02    -3.26     16
  41       H     0.10    -4.40     8.08      -2.39      -0.02    -4.41     16
 Total:          1.00   -75.76   331.36                  1.30   -74.46