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  13       C    -0.01     0.03     3.03      71.24       0.22     0.25     16
  14       O    -0.55    -0.01    12.88    -148.98      -1.92    -1.92     16
  15       Si    0.96    -0.43    27.92      68.60       1.92     1.48     16
  16       H    -0.26    -0.29     7.11      99.48       0.71     0.42     16
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 Total:          0.00   -14.81   327.10                  3.66   -11.14