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   3       C    -0.45     1.58     8.65     113.37       0.98     2.56     16
   4       C    -0.41     0.46     5.24      72.29       0.38     0.83     16
   5       C     0.05     0.11     4.98      86.70       0.43     0.54     16
   6       N    -0.49    -2.30     4.16    -700.23      -2.91    -5.21     16
   7       C     0.29     1.81     6.46     133.06       0.86     2.67     16
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   9       F    -0.13    -0.88    14.69      44.97       0.66    -0.22     16
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  12       C    -0.07     0.28     2.83      71.24       0.20     0.48     16
  13       O    -0.55     1.54    12.78    -148.98      -1.90    -0.37     16
  14       Si    0.97    -4.08    25.10      68.60       1.72    -2.36     16
  15       H    -0.25     1.06     7.11      99.48       0.71     1.77     16
  16       H    -0.27     0.15     7.11      99.48       0.71     0.86     16
  17       H    -0.25     0.76     7.11      99.48       0.71     1.46     16
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  20       C     0.07     0.19     4.90      86.70       0.42     0.62     16
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  22       H     0.07    -0.21     7.96      -2.39      -0.02    -0.23     16
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  31       H     0.08     0.31     5.09      -2.39      -0.01     0.30     16
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 Total:          0.00   -10.77   313.26                  3.68    -7.10