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  13       C     0.39     0.49     7.47    -154.86      -1.16    -0.66     16
  14       N    -0.51    -0.69     9.20     -12.37      -0.11    -0.81     16
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  16       C    -0.21     0.08     5.40    -104.47      -0.56    -0.48     16
  17       C    -0.06     0.07     2.84      36.00       0.10     0.17     16
  18       O    -0.53    -0.26    12.78     -35.23      -0.45    -0.71     16
  19       Si    0.68    -1.22    29.82    -169.99      -5.07    -6.29     16
  20       C    -0.04    -0.02     9.75     -39.26      -0.38    -0.40     16
  21       C    -0.02    -0.03     7.35     -39.10      -0.29    -0.32     16
  22       F    -0.13    -0.27    16.65       2.25       0.04    -0.23     16
  23       C    -0.13     0.23     5.39     -26.70      -0.14     0.09     16
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  45       H     0.07    -0.01     8.14     -51.93      -0.42    -0.43     16
 Total:          0.00    -7.75   363.87                 -9.88   -17.63