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   5       O    -0.59    -8.61    15.84      -3.05      -0.05    -8.66     16
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  14       N    -0.53    -1.63     9.20    -193.04      -1.78    -3.40     16
  15       C     0.15    -0.06     9.84      84.61       0.83     0.77     16
  16       C    -0.20     0.20     5.40     -19.76      -0.11     0.10     16
  17       C    -0.07     0.17     2.84      71.24       0.20     0.38     16
  18       O    -0.55    -0.46    12.78    -148.98      -1.90    -2.37     16
  19       Si    0.76    -2.80    29.82      68.60       2.05    -0.76     16
  20       C    -0.04    -0.04     9.75      22.48       0.22     0.18     16
  21       C    -0.04    -0.11     7.35      22.58       0.17     0.05     16
  22       F    -0.14    -0.60    16.65      44.97       0.75     0.15     16
  23       C    -0.12     0.45     5.39      30.61       0.17     0.62     16
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  25       H     0.05    -0.02     8.14      -2.39      -0.02    -0.04     16
  26       H     0.05     0.23     7.49      -2.39      -0.02     0.21     16
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  44       H     0.06     0.29     7.85      -2.39      -0.02     0.27     16
  45       H     0.07     0.03     8.14      -2.39      -0.02     0.01     16
 Total:          0.00   -20.46   363.87                  0.33   -20.13