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  13       N    -0.51    -0.25     9.13     -12.36      -0.11    -0.37     16
  14       C     0.15    -0.15     9.84     -17.57      -0.17    -0.32     16
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  16       C    -0.06     0.09     2.82      36.01       0.10     0.19     16
  17       O    -0.54     0.52    12.84     -35.23      -0.45     0.07     16
  18       Si    0.68    -1.65    29.83    -169.99      -5.07    -6.72     16
  19       C    -0.04    -0.01     9.82     -39.26      -0.39    -0.39     16
  20       C    -0.02    -0.02     7.35     -39.09      -0.29    -0.31     16
  21       F    -0.13    -0.27    16.65       2.25       0.04    -0.23     16
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  31       H     0.38    -1.83     8.70      45.56       0.40    -1.44     16
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  33       H    -0.25    -0.26     7.11      56.52       0.40     0.14     16
  34       H     0.15    -0.09     8.06     -52.48      -0.42    -0.51     16
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  36       H     0.10    -0.02     8.14     -51.93      -0.42    -0.44     16
 Total:          0.00    -5.98   314.53                 -6.63   -12.61