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  14       N    -0.54    -1.19     9.77     -11.36      -0.11    -1.30     16
  15       C     0.07     0.18     5.19     -84.18      -0.44    -0.25     16
  16       C    -0.03    -0.05     2.84      36.00       0.10     0.05     16
  17       O    -0.54    -1.20    12.88     -35.23      -0.45    -1.66     16
  18       Si    0.71     0.74    32.62    -169.99      -5.55    -4.81     16
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  21       S     0.10     0.08    22.32    -107.50      -2.40    -2.32     16
  22       C    -0.14     0.60     6.62     -25.92      -0.17     0.43     16
  23       H     0.06    -0.10     6.35     -51.93      -0.33    -0.43     16
  24       H     0.06    -0.23     6.32     -51.93      -0.33    -0.56     16
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  28       H     0.07    -0.24     8.14     -51.93      -0.42    -0.66     16
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  32       H     0.38    -0.21     8.70      45.56       0.40     0.19     16
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  39       H     0.10    -0.47     6.42     -51.93      -0.33    -0.80     16
 Total:          0.00    -6.16   342.72                 -8.97   -15.13