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   6       C     0.14    -0.21     6.31      36.01       0.23     0.02     16
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  14       N    -0.71     0.56     5.22     -53.85      -0.28     0.28     16
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  16       N    -0.51    -0.53     9.20     -12.37      -0.11    -0.65     16
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  19       C    -0.05     0.07     2.84      36.00       0.10     0.17     16
  20       O    -0.54     0.36    12.78     -35.23      -0.45    -0.09     16
  21       Si    0.69    -1.38    29.82    -169.99      -5.07    -6.45     16
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  24       F    -0.13    -0.24    16.65       2.25       0.04    -0.21     16
  25       C    -0.13     0.22     5.51     -26.75      -0.15     0.08     16
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  48       H     0.17    -0.34     8.06     -52.49      -0.42    -0.76     16
 Total:          0.00    -7.69   399.44                -10.49   -18.18