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  14       O    -0.55     0.64    12.84    -148.98      -1.91    -1.27     16
  15       Si    0.76    -2.29    29.83      68.60       2.05    -0.24     16
  16       C    -0.05    -0.02     9.54      22.44       0.21     0.20     16
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  20       H     0.05     0.09     8.14      -2.39      -0.02     0.08     16
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  42       H     0.07     0.24     2.72      -2.38      -0.01     0.24     16
 Total:          0.00    -9.49   308.40                 -0.90   -10.39