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  15       O    -0.53    -0.63    12.78     -35.23      -0.45    -1.08     16
  16       Si    0.68    -0.95    29.82    -169.99      -5.07    -6.02     16
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  19       F    -0.13    -0.57    16.66       2.25       0.04    -0.53     16
  20       C    -0.16     0.11     7.19     -25.91      -0.19    -0.08     16
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  37       H     0.08     0.01     8.09     -51.93      -0.42    -0.41     16
 Total:          0.00    -6.82   312.98                 -7.44   -14.26