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  16       Si    0.77    -2.70    29.82      68.60       2.05    -0.65     16
  17       C    -0.04    -0.20     9.75      22.48       0.22     0.02     16
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  19       F    -0.15    -1.58    16.66      44.97       0.75    -0.83     16
  20       C    -0.15     0.27     7.19      31.12       0.22     0.49     16
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 Total:          0.00   -16.84   312.98                 -1.79   -18.63