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  14       C     0.65     2.14     8.06      54.06       0.44     2.57     16
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  21       C    -0.12     0.25     5.08     -26.71      -0.14     0.11     16
  22       C    -0.11     0.18     5.10     -26.71      -0.14     0.05     16
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  24       C    -0.09    -0.28     8.66     -39.61      -0.34    -0.62     16
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  27       O    -0.55    -0.34    12.74     -35.23      -0.45    -0.78     16
  28       Si    0.68    -0.41    29.78    -169.99      -5.06    -5.47     16
  29       C    -0.05    -0.14     9.26     -39.60      -0.37    -0.51     16
  30       H     0.07     0.03     8.14     -51.93      -0.42    -0.39     16
  31       H     0.07     0.01     8.09     -51.92      -0.42    -0.41     16
  32       H     0.07     0.10     7.53     -51.93      -0.39    -0.29     16
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  36       H     0.07    -0.20     8.14     -51.93      -0.42    -0.62     16
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  61       H     0.13     0.19     8.06     -52.49      -0.42    -0.23     16
 Total:          0.00    -7.78   467.28                -12.37   -20.15