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  15       C    -0.12     0.02     7.47     -25.92      -0.19    -0.18     16
  16       C    -0.20    -0.16     8.65     -39.48      -0.34    -0.50     16
  17       C    -0.04     0.02     5.36    -104.57      -0.56    -0.54     16
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  19       O    -0.54     0.34    12.83     -35.23      -0.45    -0.11     16
  20       Si    0.69    -1.37    29.78    -169.99      -5.06    -6.43     16
  21       C    -0.17     0.21     8.64     -39.64      -0.34    -0.14     16
  22       C    -0.02     0.00     9.61     -39.18      -0.38    -0.37     16
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 Total:          0.00    -8.80   330.87                 -8.26   -17.06