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   4       C     0.13     0.27     6.70     -39.15      -0.26     0.01     16
   5       O    -0.30    -0.53     9.92     -34.34      -0.34    -0.87     16
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  15       F    -0.17    -0.48    17.09       2.25       0.04    -0.44     16
  16       F    -0.17    -0.18    15.82       2.25       0.04    -0.15     16
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  20       C    -0.07     0.06     2.80      36.01       0.10     0.16     16
  21       O    -0.54     0.44    12.83     -35.23      -0.45    -0.01     16
  22       Si    0.69    -0.96    29.79    -169.99      -5.06    -6.02     16
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  26       H     0.05     0.05     8.14     -51.93      -0.42    -0.37     16
  27       H     0.05     0.06     8.14     -51.93      -0.42    -0.36     16
  28       H     0.09    -0.05     8.14     -51.93      -0.42    -0.47     16
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  44       H     0.40    -1.63     9.06      45.56       0.41    -1.21     16
 Total:          0.00    -8.04   371.80                 -6.02   -14.07