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  18       C    -0.08     0.42     2.82      71.24       0.20     0.62     16
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  20       Si    0.76    -4.44    29.78      68.60       2.04    -2.40     16
  21       C    -0.12     0.09     9.58      22.31       0.21     0.30     16
  22       C     0.10     0.39     7.31      22.44       0.16     0.56     16
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  45       H     0.07     0.18     8.14      -2.39      -0.02     0.16     16
 Total:          0.00   -12.95   373.74                  3.40    -9.56