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  14       C     0.00     0.00     5.13     -20.92      -0.11    -0.11     16
  15       C    -0.11    -0.52     1.87      71.23       0.13    -0.39     16
  16       O    -0.52    -4.04    11.04    -129.06      -1.42    -5.47     16
  17       Si    0.79    -1.06    30.47      68.60       2.09     1.03     16
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  19       C    -0.15     0.88    11.23      66.72       0.75     1.62     16
  20       S     0.23    -0.60    23.34     -56.49      -1.32    -1.92     16
  21       C    -0.15    -0.05     7.45      31.12       0.23     0.18     16
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  37       H     0.09     0.13     6.92      -2.39      -0.02     0.12     16
 Total:          0.00   -22.34   326.58                 -3.04   -25.38