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  13       O    -0.66    -4.61     9.51     -61.82      -0.59    -5.20     16
  14       C     0.05     0.21     4.79      22.52       0.11     0.32     16
  15       C    -0.02    -0.20     5.65      22.41       0.13    -0.08     16
  16       Cl   -0.05    -0.67    25.90      -2.72      -0.07    -0.74     16
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  18       C    -0.11    -0.05     2.08      71.24       0.15     0.10     16
  19       O    -0.56    -0.40    12.80    -148.98      -1.91    -2.30     16
  20       Si    0.79    -4.34    30.18      68.60       2.07    -2.27     16
  21       C    -0.10     0.24     8.66      22.28       0.19     0.43     16
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  23       C    -0.11     0.67     8.50      22.36       0.19     0.86     16
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  27       H     0.06     0.02     8.13      -2.39      -0.02     0.00     16
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  36       H     0.20    -3.30     7.25      -2.91      -0.02    -3.32     16
  37       H     0.15    -2.14     8.14      -2.39      -0.02    -2.16     16
  38       H     0.09    -0.04     7.38      -2.38      -0.02    -0.06     16
 Total:          0.00   -37.24   347.62                 -1.21   -38.45