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   5       C    -0.09     0.25     4.26     -90.87      -0.39    -0.14     16
   6       H     0.14    -0.70     8.14     -51.93      -0.42    -1.13     16
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   9       H     0.17    -1.04     8.14     -51.93      -0.42    -1.46     16
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  11       O    -0.91    -3.93    18.09     -67.04      -1.21    -5.15     16
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  13       O    -0.65    -0.64     9.45     -51.81      -0.49    -1.13     16
  14       C     0.13     0.05     4.64     -39.23      -0.18    -0.13     16
  15       C    -0.04    -0.03     4.75    -104.47      -0.50    -0.53     16
  16       C    -0.09    -0.08     2.23      36.00       0.08     0.01     16
  17       O    -0.53    -0.71    12.79     -35.23      -0.45    -1.16     16
  18       Si    0.70    -0.71    30.22    -169.99      -5.14    -5.85     16
  19       C    -0.06     0.04     8.44     -39.58      -0.33    -0.30     16
  20       C    -0.05     0.03     6.33     -39.42      -0.25    -0.22     16
  21       Cl   -0.02     0.01    28.61     -51.86      -1.48    -1.48     16
  22       C     0.14    -0.14     7.27     -39.41      -0.29    -0.43     16
  23       F    -0.11     0.07    16.83       2.25       0.04     0.11     16
  24       C    -0.16     0.29     6.92     -39.37      -0.27     0.02     16
  25       C    -0.09     0.19     6.99     -25.92      -0.18     0.01     16
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  31       H     0.09     0.06     5.73     -51.93      -0.30    -0.23     16
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  36       H     0.17    -0.86     6.58     -52.49      -0.35    -1.21     16
  37       H     0.11    -0.42     8.14     -51.93      -0.42    -0.84     16
  38       H     0.11    -0.12     7.40     -51.93      -0.38    -0.51     16
 Total:          0.00   -10.37   349.46                -10.17   -20.54