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   5       O    -0.53    -3.62    15.65      21.97       0.34    -3.27     16
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  21       O    -0.55     1.52    12.77    -148.98      -1.90    -0.39     16
  22       Si    0.78    -3.75    29.79      68.60       2.04    -1.71     16
  23       C    -0.12     0.10     9.61      22.27       0.21     0.32     16
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  45       H     0.11    -0.91     8.14      -2.39      -0.02    -0.93     16
 Total:          0.00   -26.66   395.41                 -1.79   -28.45