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   5       C    -0.09     0.40     4.26     -11.01      -0.05     0.35     16
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  13       O    -0.65    -1.85     9.44     -61.55      -0.58    -2.43     16
  14       C     0.07    -0.08     4.68      22.51       0.11     0.02     16
  15       C    -0.05     0.16     4.73     -19.77      -0.09     0.07     16
  16       C    -0.12    -0.01     2.28      71.24       0.16     0.15     16
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  18       Si    0.82    -4.52    29.85      68.60       2.05    -2.48     16
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  22       N     0.03    -0.01     4.45     -46.51      -0.21    -0.22     16
  23       O    -0.17    -0.28    18.45      18.89       0.35     0.07     16
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  39       H     0.09     0.11     7.40      -2.38      -0.02     0.10     16
  40       H     0.13    -1.02     8.14      -2.38      -0.02    -1.04     16
 Total:          0.00   -35.37   355.63                 -0.51   -35.87