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   5       O    -0.59    -7.69    15.56      -3.06      -0.05    -7.74     16
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   7       H     0.12    -1.02     7.40      -2.38      -0.02    -1.04     16
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  10       C     0.15    -0.85     2.65      44.99       0.12    -0.73     16
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  15       O    -0.97    -5.82    16.54    -128.00      -2.12    -7.94     16
  16       C    -0.68    -0.26     5.81      22.27       0.13    -0.13     16
  17       C    -0.02     0.03     8.92      22.27       0.20     0.23     16
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  19       C    -0.06     0.09     5.39     -19.87      -0.11    -0.02     16
  20       C    -0.09     0.21     2.82      71.24       0.20     0.41     16
  21       O    -0.54    -0.35    12.77    -148.98      -1.90    -2.26     16
  22       Si    0.76    -2.37    29.79      68.60       2.04    -0.33     16
  23       C    -0.12     0.04     9.61      22.27       0.21     0.25     16
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  25       C    -0.12     0.78     5.45      30.61       0.17     0.95     16
  26       C    -0.10     0.20     4.50      30.61       0.14     0.34     16
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 Total:          0.00   -28.71   396.23                 -3.97   -32.68