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   4       O    -0.54    -5.61    15.65      21.95       0.34    -5.27     16
   5       C    -0.09     0.61     4.26     -11.01      -0.05     0.57     16
   6       H     0.19    -2.96     8.14      -2.39      -0.02    -2.98     16
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  13       O    -0.66    -3.28     9.51     -61.86      -0.59    -3.87     16
  14       C     0.05     0.10     4.79      22.52       0.11     0.21     16
  15       C    -0.04    -0.22     5.65      22.41       0.13    -0.09     16
  16       Cl   -0.06    -0.68    27.29      -2.72      -0.07    -0.76     16
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  18       C    -0.05     0.19     5.38     -19.85      -0.11     0.08     16
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  20       O    -0.56     1.79    12.81    -148.98      -1.91    -0.11     16
  21       Si    0.78    -7.97    29.84      68.60       2.05    -5.92     16
  22       C    -0.09     0.78     8.66      22.26       0.19     0.97     16
  23       C    -0.10     0.80     8.50      22.36       0.19     1.00     16
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  37       H     0.15    -2.37     8.14      -2.38      -0.02    -2.39     16
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 Total:          0.00   -36.68   349.75                 -1.18   -37.85