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   4       O    -0.54    -5.99    15.65      21.96       0.34    -5.65     16
   5       C    -0.09     0.50     4.26     -11.01      -0.05     0.45     16
   6       H     0.18    -2.57     8.14      -2.39      -0.02    -2.59     16
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  13       O    -0.66    -2.27     9.00     -61.16      -0.55    -2.82     16
  14       C     0.04     0.06     4.74      22.56       0.11     0.17     16
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  16       C    -0.12    -1.07     2.18      71.24       0.16    -0.91     16
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  18       Si    0.82     4.09    30.17      68.60       2.07     6.16     16
  19       C    -0.10    -0.03     8.03      22.47       0.18     0.15     16
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  21       C    -0.07     0.23     5.88     -20.04      -0.12     0.12     16
  22       C    -0.12     0.34     9.43      22.49       0.21     0.55     16
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  26       C    -0.11     0.62     9.43      22.49       0.21     0.83     16
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  30       H     0.13    -1.01     8.14      -2.39      -0.02    -1.03     16
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 Total:          0.00   -33.80   404.32                 -0.27   -34.07