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   5       C    -0.09     0.59     4.26     -11.01      -0.05     0.54     16
   6       H     0.18    -2.78     8.14      -2.39      -0.02    -2.80     16
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  13       O    -0.66    -2.04     8.63     -61.97      -0.53    -2.57     16
  14       C     0.03    -0.02     4.34      22.50       0.10     0.08     16
  15       C    -0.07    -0.09     3.99     -19.77      -0.08    -0.16     16
  16       C    -0.09    -0.47     2.42      71.24       0.17    -0.29     16
  17       O    -0.54    -1.38    11.50    -148.98      -1.71    -3.09     16
  18       Si    0.80     3.62    32.35      68.60       2.22     5.84     16
  19       C    -0.13     0.36     9.17      22.30       0.20     0.56     16
  20       C     0.12    -0.56     7.30      22.37       0.16    -0.40     16
  21       F    -0.13     0.30    17.27      44.97       0.78     1.08     16
  22       C    -0.12     1.20    10.02      22.30       0.22     1.43     16
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  37       H     0.15    -2.33     8.14      -2.39      -0.02    -2.35     16
  38       H     0.09    -0.16     7.38      -2.38      -0.02    -0.18     16
 Total:          0.00   -30.64   339.48                  0.18   -30.46