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  20       Si    0.69    -2.18    29.87    -169.99      -5.08    -7.26     16
  21       C    -0.10     0.31     8.66     -39.60      -0.34    -0.03     16
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  31       H     0.13    -0.39     7.96     -51.93      -0.41    -0.81     16
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 Total:          0.00   -11.72   335.68                -10.41   -22.13