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   4       O    -0.50    -2.16    15.65     -18.75      -0.29    -2.45     16
   5       C    -0.09     0.15     4.26     -90.96      -0.39    -0.24     16
   6       H     0.14    -0.58     8.14     -51.93      -0.42    -1.00     16
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   9       H     0.17    -0.69     7.72     -51.93      -0.40    -1.09     16
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  11       O    -0.91    -4.57    18.09     -67.04      -1.21    -5.78     16
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  13       O    -0.65    -0.59     8.88     -52.00      -0.46    -1.05     16
  14       C     0.05     0.01     4.62     -39.18      -0.18    -0.17     16
  15       C     0.12    -0.20     5.21     -39.30      -0.20    -0.40     16
  16       F    -0.11     0.26    13.05       2.25       0.03     0.29     16
  17       C    -0.13     0.40     9.80     -39.51      -0.39     0.01     16
  18       C     0.01    -0.04     6.32     -39.49      -0.25    -0.29     16
  19       Cl   -0.02     0.06    28.95     -51.86      -1.50    -1.44     16
  20       C    -0.09     0.17     8.44     -39.55      -0.33    -0.17     16
  21       C    -0.04    -0.01     4.66    -104.49      -0.49    -0.50     16
  22       C    -0.10    -0.15     2.19      36.01       0.08    -0.07     16
  23       O    -0.52    -0.77    12.65     -35.23      -0.45    -1.22     16
  24       Si    0.75    -0.06    30.17    -169.99      -5.13    -5.19     16
  25       C    -0.09     0.10     6.99     -25.92      -0.18    -0.08     16
  26       H     0.07    -0.06     8.13     -51.93      -0.42    -0.48     16
  27       H     0.10    -0.38     8.14     -51.93      -0.42    -0.80     16
  28       H     0.07    -0.07     8.13     -51.93      -0.42    -0.49     16
  29       H     0.11    -0.16     7.36     -51.93      -0.38    -0.54     16
  30       H     0.11    -0.43     5.52     -51.93      -0.29    -0.71     16
  31       H     0.17    -0.92     8.06     -52.49      -0.42    -1.35     16
  32       H     0.16    -0.65     5.12     -52.49      -0.27    -0.92     16
  33       H     0.09     0.24     5.46     -51.93      -0.28    -0.04     16
  34       H     0.37    -0.16     8.56      45.56       0.39     0.23     16
  35       H    -0.24    -0.22     7.11      56.52       0.40     0.18     16
  36       H    -0.24    -0.64     7.11      56.52       0.40    -0.24     16
  37       H     0.11    -0.32     8.14     -51.93      -0.42    -0.75     16
  38       H     0.11     0.00     7.39     -51.93      -0.38    -0.38     16
 Total:          0.00    -9.27   345.40                -10.21   -19.48