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   4       C    -0.46     1.29     8.65     113.37       0.98     2.27     16
   5       C    -0.27     0.64     5.31     113.37       0.60     1.24     16
   6       O    -0.29    -1.03     9.12     -92.45      -0.84    -1.88     16
   7       C     0.17     0.82     5.77      22.50       0.13     0.95     16
   8       C    -0.25    -0.93     5.62      22.41       0.13    -0.80     16
   9       C     0.13     0.66     7.30      22.36       0.16     0.82     16
  10       F    -0.14    -0.97    17.27      44.97       0.78    -0.19     16
  11       C    -0.19    -0.59    10.02      22.33       0.22    -0.36     16
  12       C    -0.06    -0.18     8.65      22.25       0.19     0.01     16
  13       C    -0.14    -0.63     5.31     -19.76      -0.10    -0.73     16
  14       C    -0.08    -0.09     2.37      71.23       0.17     0.08     16
  15       O    -0.56    -1.40    12.86    -148.98      -1.92    -3.32     16
  16       Si    0.97    -1.28    25.48      68.60       1.75     0.47     16
  17       H    -0.25     0.13     7.11      99.48       0.71     0.84     16
  18       H    -0.25     0.39     7.11      99.48       0.71     1.09     16
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  20       H     0.07    -0.10     6.50      -2.39      -0.02    -0.12     16
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  23       H     0.08    -0.46     7.96      -2.39      -0.02    -0.48     16
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  28       H     0.07    -0.25     7.96      -2.39      -0.02    -0.27     16
  29       H     0.08    -0.27     6.06      -2.39      -0.01    -0.28     16
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  32       H     0.16    -0.15     8.06      -2.91      -0.02    -0.18     16
  33       H     0.15    -0.14     4.88      -2.91      -0.01    -0.15     16
  34       H     0.09    -0.11     7.83      -2.38      -0.02    -0.12     16
  35       H     0.39    -2.60     8.74     -74.05      -0.65    -3.25     16
 Total:          0.00   -11.63   288.60                  6.00    -5.63