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   6       C    -0.07    -0.10     2.38      36.01       0.09    -0.01     16
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  13       O    -0.28    -0.67     9.13     -19.45      -0.18    -0.85     16
  14       C    -0.25     0.14     5.31     101.05       0.54     0.67     16
  15       Si    0.98    -2.14    11.68    -169.99      -1.99    -4.12     16
  16       C    -0.45     0.55     7.04     101.05       0.71     1.26     16
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  21       H     0.07    -0.13     8.08     -51.93      -0.42    -0.55     16
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  38       H     0.14    -0.11     4.25     -52.49      -0.22    -0.34     16
 Total:          0.00    -4.75   303.57                 -6.55   -11.30