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   4       C     0.11     0.26     6.70     -39.12      -0.26    -0.01     16
   5       O    -0.30    -0.68     9.92     -34.23      -0.34    -1.02     16
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  16       F    -0.17    -0.20    15.83       2.25       0.04    -0.17     16
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  19       C    -0.11     0.02     8.66     -39.58      -0.34    -0.32     16
  20       C    -0.12    -0.05     5.35    -104.62      -0.56    -0.61     16
  21       C    -0.07     0.02     2.80      36.01       0.10     0.12     16
  22       O    -0.53    -0.64    12.83     -35.23      -0.45    -1.09     16
  23       Si    0.69    -0.75    29.87    -169.99      -5.08    -5.83     16
  24       C    -0.15    -0.19     8.67     -39.46      -0.34    -0.54     16
  25       H     0.10    -0.21     8.14     -51.93      -0.42    -0.63     16
  26       H     0.06    -0.06     7.66     -51.93      -0.40    -0.46     16
  27       H     0.06    -0.09     7.66     -51.93      -0.40    -0.49     16
  28       H     0.07    -0.15     7.66     -51.93      -0.40    -0.55     16
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  42       H    -0.26    -0.19     7.01      56.52       0.40     0.21     16
  43       H     0.14     0.04     6.30     -52.48      -0.33    -0.29     16
 Total:          0.00    -6.89   357.18                 -6.68   -13.57