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  14       C    -0.10    -0.16     5.30    -104.48      -0.55    -0.72     16
  15       C    -0.06    -0.03     2.37      36.01       0.09     0.06     16
  16       O    -0.53    -0.81    12.86     -35.23      -0.45    -1.27     16
  17       Si    0.68    -0.38    30.21    -169.99      -5.14    -5.52     16
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  21       C    -0.04    -0.01     9.78     -39.58      -0.39    -0.40     16
  22       C    -0.20     0.00     9.04     -39.44      -0.36    -0.36     16
  23       C    -0.14     0.45     6.62     -25.92      -0.17     0.28     16
  24       H     0.06    -0.21     6.39     -51.93      -0.33    -0.54     16
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  39       H     0.09    -0.38     6.48     -51.93      -0.34    -0.72     16
 Total:          0.00    -5.93   347.78                 -8.54   -14.46