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  15       N    -0.54     0.54     5.41      -5.42      -0.03     0.51     16
  16       C    -0.03     0.01     6.09     -81.86      -0.50    -0.49     16
  17       C    -0.03     0.05     2.98      36.01       0.11     0.15     16
  18       O    -0.53     0.55    12.88     -35.23      -0.45     0.10     16
  19       Si    0.67    -1.73    30.95    -169.99      -5.26    -6.99     16
  20       C    -0.14    -0.13     8.75     -37.50      -0.33    -0.46     16
  21       C    -0.17    -0.04     7.33     -25.83      -0.19    -0.23     16
  22       H     0.04    -0.05     8.14     -51.93      -0.42    -0.47     16
  23       H     0.09    -0.11     8.14     -51.93      -0.42    -0.53     16
  24       H     0.04    -0.05     8.14     -51.93      -0.42    -0.47     16
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  40       H     0.10     0.03     6.40     -51.93      -0.33    -0.30     16
 Total:          0.00    -7.94   320.51                 -8.16   -16.09