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   5       C     0.20     0.15     0.63    -132.97      -0.08     0.07     16
   6       N    -0.72     0.31     3.98     -49.66      -0.20     0.11     16
   7       C     0.56     1.16     6.70     -12.40      -0.08     1.08     16
   8       O    -0.47    -2.44    10.58     -19.21      -0.20    -2.65     16
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  10       C     0.16     0.40     7.28     -38.97      -0.28     0.12     16
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  12       C    -0.14    -0.19     8.62     -39.57      -0.34    -0.53     16
  13       C    -0.05    -0.04     5.30    -104.49      -0.55    -0.60     16
  14       C    -0.08     0.10     2.43      36.00       0.09     0.19     16
  15       O    -0.54     0.55    12.86     -35.23      -0.45     0.10     16
  16       Si    0.69    -1.73    30.18    -169.99      -5.13    -6.86     16
  17       C     0.11     0.06     7.23     -39.49      -0.29    -0.23     16
  18       F    -0.12    -0.13    16.73       2.25       0.04    -0.09     16
  19       C    -0.09     0.08     9.52     -39.11      -0.37    -0.29     16
  20       C    -0.13    -0.12     4.23     -26.73      -0.11    -0.23     16
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  22       C    -0.10     0.17     3.19     -90.62      -0.29    -0.12     16
  23       H     0.08    -0.16     8.14     -51.93      -0.42    -0.58     16
  24       C    -0.16     0.21     8.50      37.16       0.32     0.52     16
  25       C    -0.11     0.30     5.28     -26.71      -0.14     0.16     16
  26       C    -0.12     0.12     4.04     -26.71      -0.11     0.01     16
  27       H     0.06     0.14     8.13     -51.93      -0.42    -0.29     16
  28       H     0.06     0.10     8.13     -51.93      -0.42    -0.32     16
  29       H     0.10     0.05     8.14     -51.93      -0.42    -0.37     16
  30       H     0.40    -1.28     5.35     -40.82      -0.22    -1.50     16
  31       H     0.15     0.10     4.86     -52.49      -0.26    -0.15     16
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  47       H     0.08    -0.11     8.14     -51.93      -0.42    -0.53     16
 Total:          0.00    -8.92   372.24                 -8.44   -17.36