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   5       C    -0.10     0.37     4.26     -10.95      -0.05     0.32     16
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  14       C    -0.13     0.41     4.68      29.85       0.14     0.55     16
  15       C     0.08     0.11     4.03      71.98       0.29     0.40     16
  16       O    -0.32    -1.49    10.14     -92.42      -0.94    -2.43     16
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  20       C    -0.09    -0.05     2.80      71.24       0.20     0.15     16
  21       O    -0.55    -2.09    12.84    -148.98      -1.91    -4.00     16
  22       Si    0.78    -1.34    29.88      68.60       2.05     0.71     16
  23       C    -0.16     0.01     8.67      22.28       0.19     0.20     16
  24       C    -0.08    -0.02    10.04      22.26       0.22     0.20     16
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  26       C    -0.12     0.66     7.14      31.18       0.22     0.88     16
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 Total:          0.00   -22.57   394.06                  2.47   -20.11