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   5       C    -0.10     0.56     4.13     -11.02      -0.05     0.52     16
   6       H     0.16    -1.80     8.14      -2.39      -0.02    -1.82     16
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  16       C     0.16     0.67     6.70      22.57       0.15     0.82     16
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  21       C    -0.10     0.04     1.73      71.24       0.12     0.16     16
  22       O    -0.55    -0.12    11.77    -129.62      -1.53    -1.64     16
  23       Si    0.78    -4.19    30.19      68.60       2.07    -2.12     16
  24       C    -0.04    -0.21     6.85      36.38       0.25     0.04     16
  25       N     0.04     0.30     4.45     -46.46      -0.21     0.09     16
  26       O    -0.19    -1.71    18.44      18.89       0.35    -1.36     16
  27       O    -0.14    -1.27    14.62      25.11       0.37    -0.90     16
  28       C    -0.11    -0.07     8.54      22.35       0.19     0.12     16
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  31       H     0.06    -0.07     8.13      -2.39      -0.02    -0.09     16
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  48       H     0.09    -0.21     8.10      -2.39      -0.02    -0.23     16
 Total:          0.00   -34.47   411.24                  2.41   -32.06