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   5       O    -0.57    -8.77    16.41      -4.33      -0.07    -8.84     16
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  13       H     0.10    -0.23     8.14      -2.39      -0.02    -0.25     16
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  15       C    -0.16    -0.58     7.22      31.12       0.22    -0.36     16
  16       N    -0.51    -0.99     6.10    -171.93      -1.05    -2.03     16
  17       C     0.01     0.00     6.47      41.34       0.27     0.26     16
  18       C    -0.07     0.16     3.08      71.24       0.22     0.38     16
  19       O    -0.55     0.10    12.88    -148.98      -1.92    -1.82     16
  20       Si    0.80    -3.45    30.54      68.60       2.10    -1.35     16
  21       C    -0.19     0.13     9.27      22.01       0.20     0.34     16
  22       H     0.08    -0.39     7.96      -2.39      -0.02    -0.41     16
  23       H     0.08    -0.29     8.14      -2.38      -0.02    -0.31     16
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  40       H     0.17    -0.89     6.17      -2.91      -0.02    -0.91     16
 Total:          0.00   -20.46   334.54                 -2.00   -22.46