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  13       C    -0.05     0.09     3.08      36.01       0.11     0.21     16
  14       O    -0.54     0.79    12.88     -35.23      -0.45     0.34     16
  15       Si    0.72    -1.64    30.56    -169.99      -5.19    -6.84     16
  16       N    -0.52     0.31     5.99      -5.69      -0.03     0.27     16
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  18       C     0.09    -0.17     5.28     -25.92      -0.14    -0.31     16
  19       H     0.09    -0.31     8.14     -51.93      -0.42    -0.73     16
  20       O    -0.54     1.10    13.09     -35.23      -0.46     0.64     16
  21       C    -0.16     0.37     7.19     -25.92      -0.19     0.18     16
  22       H     0.06     0.04     8.13     -51.93      -0.42    -0.38     16
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  36       H     0.11    -0.31     8.09     -51.93      -0.42    -0.73     16
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 Total:          0.00   -11.05   323.42                 -6.82   -17.87