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  14       C    -0.09    -0.07     9.89      71.24       0.70     0.64     16
  15       O    -0.17    -0.38     8.89       4.51       0.04    -0.34     16
  16       C    -0.06     0.02     6.20      24.76       0.15     0.17     16
  17       C    -0.03     0.11     2.97      71.23       0.21     0.32     16
  18       O    -0.53     0.84    12.86    -148.98      -1.92    -1.08     16
  19       Si    0.77    -2.07    32.09      68.60       2.20     0.13     16
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  21       C    -0.14    -0.07     7.43      31.12       0.23     0.16     16
  22       H     0.05    -0.16     8.14      -2.39      -0.02    -0.18     16
  23       H     0.09    -0.21     8.14      -2.39      -0.02    -0.23     16
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 Total:          0.00   -17.66   332.77                  0.37   -17.29