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   9       C    -0.14     0.05     5.88    -104.92      -0.62    -0.57     16
  10       C     0.16     0.01     7.28     -38.97      -0.28    -0.27     16
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  13       C    -0.10     0.15     5.27    -104.49      -0.55    -0.40     16
  14       C    -0.07     0.12     2.44      36.01       0.09     0.20     16
  15       O    -0.53     0.54    12.88     -35.23      -0.45     0.09     16
  16       Si    0.69    -1.77    29.90    -169.99      -5.08    -6.85     16
  17       C     0.11    -0.09     7.23     -39.49      -0.29    -0.37     16
  18       F    -0.12    -0.10    16.73       2.25       0.04    -0.06     16
  19       C    -0.10     0.20     9.51     -39.11      -0.37    -0.18     16
  20       C    -0.12     0.14     6.96     -25.92      -0.18    -0.04     16
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  22       H     0.11     0.08     7.05     -51.93      -0.37    -0.28     16
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  24       C     0.03    -0.02    10.85     101.05       1.10     1.07     16
  25       C    -0.14    -0.03     7.30     -25.83      -0.19    -0.22     16
  26       H     0.06     0.04     8.13     -51.93      -0.42    -0.38     16
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  34       H    -0.25    -0.18     7.11      56.52       0.40     0.22     16
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  40       H     0.05    -0.06     8.14     -51.93      -0.42    -0.48     16
  41       H     0.11    -0.05     8.14     -51.93      -0.42    -0.47     16
  42       H     0.08     0.09     8.09     -51.93      -0.42    -0.33     16
 Total:          0.00    -9.55   362.39                 -6.78   -16.34