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  17       F    -0.11    -0.58    15.55       2.25       0.04    -0.54     16
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  21       C    -0.08     0.17     2.81      36.01       0.10     0.27     16
  22       O    -0.54     0.55    12.73     -35.23      -0.45     0.10     16
  23       Si    0.68    -1.84    29.77    -169.99      -5.06    -6.90     16
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  27       H     0.06    -0.02     8.14     -51.92      -0.42    -0.44     16
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  44       H     0.09    -0.26     8.08     -51.93      -0.42    -0.67     16
 Total:          0.00   -10.61   374.35                 -9.16   -19.77