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   9       C    -0.13     0.88     7.39      31.13       0.23     1.11     16
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  14       O    -0.57    -8.96    16.10      16.00       0.26    -8.70     16
  15       C     0.03    -0.04     5.22      71.24       0.37     0.33     16
  16       O    -0.32    -2.79     9.67     -73.37      -0.71    -3.50     16
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  20       C    -0.09    -0.20     2.79      71.24       0.20    -0.01     16
  21       O    -0.57    -1.68    12.81    -148.98      -1.91    -3.58     16
  22       Si    0.79    -0.95    29.85      68.60       2.05     1.10     16
  23       C    -0.18    -1.06     8.67      22.28       0.19    -0.87     16
  24       C    -0.07    -0.14    10.04      22.25       0.22     0.09     16
  25       C    -0.20    -0.26     9.04      22.36       0.20    -0.06     16
  26       C    -0.15     0.68     7.43      31.12       0.23     0.91     16
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  30       H     0.13    -1.08     8.14      -2.39      -0.02    -1.10     16
  31       H     0.12    -0.96     8.14      -2.39      -0.02    -0.98     16
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  33       H     0.07    -0.19     8.10      -2.39      -0.02    -0.21     16
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 Total:          0.00   -32.64   403.44                  1.53   -31.12