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  15       C    -0.15     0.39     8.84      71.98       0.64     1.02     16
  16       C    -0.11     0.38     4.85      30.58       0.15     0.53     16
  17       C    -0.12     0.48     5.39      30.58       0.16     0.64     16
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  19       C     0.04    -0.06     6.47      41.35       0.27     0.21     16
  20       C    -0.06     0.28     3.08      71.24       0.22     0.50     16
  21       O    -0.55     1.06    12.88    -148.98      -1.92    -0.86     16
  22       Si    0.79    -3.74    30.54      68.60       2.10    -1.64     16
  23       C    -0.21    -0.11     9.27      22.01       0.20     0.10     16
  24       H     0.06     0.36     8.14      -2.39      -0.02     0.34     16
  25       H     0.08     0.10     8.14      -2.39      -0.02     0.08     16
  26       H     0.06     0.59     6.49      -2.39      -0.02     0.58     16
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 Total:          0.00   -15.93   370.35                 -0.10   -16.04