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  21       C    -0.04     0.15     2.98      71.24       0.21     0.37     16
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  23       Si    0.77    -4.78    30.96      68.60       2.12    -2.65     16
  24       N    -0.53     1.87     5.41    -171.08      -0.93     0.95     16
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  41       H    -0.28     0.53     7.11      99.48       0.71     1.24     16
  42       H    -0.29    -0.52     7.11      99.48       0.71     0.18     16
  43       H     0.43    -4.03     6.72     -92.70      -0.62    -4.66     16
 Total:          0.00   -27.40   362.57                 -0.10   -27.49