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  21       O    -0.55     0.88    12.86    -148.98      -1.92    -1.03     16
  22       Si    0.75    -4.82    30.96      68.60       2.12    -2.70     16
  23       N    -0.54     1.04     5.41    -171.07      -0.93     0.11     16
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  37       H    -0.28     0.50     7.11      99.48       0.71     1.20     16
  38       H    -0.29    -0.10     7.11      99.48       0.71     0.61     16
  39       H     0.42    -2.89     6.72     -92.71      -0.62    -3.51     16
 Total:          0.00   -26.75   333.48                 -0.61   -27.36