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   5       C    -0.15    -0.43     5.87     -20.10      -0.12    -0.55     16
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  14       C     0.56     1.64     7.77      86.75       0.67     2.31     16
  15       O    -0.58    -7.04    15.94      -3.94      -0.06    -7.10     16
  16       C    -0.16     0.04     5.87     -20.09      -0.12    -0.08     16
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  19       C    -0.07    -0.16     2.80      71.24       0.20     0.04     16
  20       O    -0.55    -1.61    12.88    -148.98      -1.92    -3.53     16
  21       Si    0.74     1.15    29.57      68.60       2.03     3.18     16
  22       C     0.12    -0.41     6.62      22.47       0.15    -0.26     16
  23       F    -0.10     0.51    13.46      44.97       0.61     1.12     16
  24       C    -0.14     1.10    10.01      22.28       0.22     1.32     16
  25       C    -0.04     0.32     9.54      22.52       0.21     0.54     16
  26       C    -0.12     1.01     7.29      31.12       0.23     1.24     16
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  29       C    -0.07     0.08     9.62      22.54       0.22     0.30     16
  30       H     0.06    -0.04     8.14      -2.39      -0.02    -0.06     16
  31       H     0.13    -0.97     8.14      -2.39      -0.02    -0.99     16
  32       H     0.06    -0.03     8.14      -2.39      -0.02    -0.05     16
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 Total:          0.00   -26.16   408.88                  2.37   -23.79