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  17       C    -0.03     0.12     2.97      71.24       0.21     0.33     16
  18       O    -0.53     0.78    12.88    -148.98      -1.92    -1.14     16
  19       Si    0.77    -2.15    32.09      68.60       2.20     0.05     16
  20       O    -0.17    -0.34     8.90       4.47       0.04    -0.30     16
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  33       H     0.39    -2.38     8.70     -74.06      -0.64    -3.02     16
  34       H    -0.28    -0.81     7.11      99.48       0.71    -0.10     16
  35       H    -0.29    -1.08     7.11      99.48       0.71    -0.38     16
 Total:          0.00   -16.81   305.96                  1.65   -15.15