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   3       C    -0.45     1.02     8.65     101.05       0.87     1.90     16
   4       C    -0.41     1.04     4.73      37.86       0.18     1.22     16
   5       C    -0.10     0.34     5.27     -28.96      -0.15     0.19     16
   6       C    -0.16     0.52     3.48     -30.46      -0.11     0.42     16
   7       C     0.06    -0.16     4.74      -5.76      -0.03    -0.19     16
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   9       C     0.56     1.79     7.11     -12.39      -0.09     1.71     16
  10       O    -0.53    -3.63    16.10       5.31       0.09    -3.54     16
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  12       C    -0.12     0.05     6.88     -39.20      -0.27    -0.22     16
  13       C    -0.16     0.00    10.01     -39.57      -0.40    -0.40     16
  14       C     0.13     0.29     6.67     -39.27      -0.26     0.03     16
  15       F    -0.12    -0.38    12.82       2.25       0.03    -0.35     16
  16       C    -0.12    -0.28     4.80    -104.62      -0.50    -0.79     16
  17       C    -0.08    -0.07     2.79      36.00       0.10     0.03     16
  18       O    -0.54    -0.78    12.86     -35.23      -0.45    -1.24     16
  19       Si    0.93     0.71    26.09    -169.99      -4.43    -3.73     16
  20       H    -0.22    -0.50     5.28      56.52       0.30    -0.20     16
  21       H    -0.26    -0.16     7.11      56.52       0.40     0.24     16
  22       H    -0.25    -0.39     7.11      56.52       0.40     0.01     16
  23       C    -0.01    -0.03     9.20     -39.20      -0.36    -0.39     16
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  27       H     0.08    -0.35     4.87     -51.93      -0.25    -0.60     16
  28       H     0.07    -0.12     7.96     -51.93      -0.41    -0.54     16
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  33       H     0.07    -0.30     6.38     -51.93      -0.33    -0.63     16
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  45       H     0.10     0.10     7.14     -51.93      -0.37    -0.28     16
 Total:          0.00    -8.15   339.77                 -7.90   -16.05